ชิ้นส่วนซิลิโคน

ชิ้นส่วนซิลิคอนส่วนใหญ่ใช้เพราะเข้ากันได้กับวัสดุของแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งนั่นทำให้ชิ้นส่วนเหล่านี้มีประโยชน์ เพราะช่วยลดโอกาสที่จะเกิดความแตกต่างที่ไม่พึงประสงค์ในกระบวนการผลิต ชิ้นส่วนซิลิคอนพบได้ทั่วไปในสภาพแวดล้อมการกัดและการตกตะกอน ประสิทธิภาพโดยทั่วไปค่อนข้างคงที่ แม้ว่าอายุการใช้งานอาจแตกต่างกันไปมาก ขึ้นอยู่กับความรุนแรงของกระบวนการ

ด้วยการพัฒนากระบวนการผลิตและการตกแต่งพื้นผิวที่ดีขึ้น ชิ้นส่วนเหล่านี้จึงมีคุณภาพดีขึ้นเรื่อยๆ ถึงกระนั้นก็ตาม ชิ้นส่วนเหล่านี้ก็ไม่ได้ถูกเลือกใช้เพราะความทนทานเสมอไป แต่ถูกเลือกใช้เพราะความเข้ากันได้และความสม่ำเสมอของกระบวนการผลิตมากกว่า